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净化工程系统设计
发布时间:2018.07.26    新闻来源:吴江瑞洁净化   浏览次数:
 无尘净化(purification)室是半导体晶圆厂的心脏,所有晶圆的生产在此车间(Workshop)完成,无尘室由两大部份组成:一是洁净环境(environmental)供应系统(system),二是高洁净度内装系统。单机除尘器是天净环保专为水泥厂库顶,库底。皮带输送及局部尘源除尘而设计的。也可以用于其它行业的局部尘源除尘用。具有体积小处理风量大,结构紧凑,使用方便可靠等优点。该系列机组基本结构由风机、过滤器和集尘器三个部分组成,各部件都安装在一个立式框架内,钢板壳体,外型美观、结构科学、运行可靠、使用方便。 


1、洁净环境供应系统
此系统供应洁净室所需的无尘洁净空气(AIR),并精确控制其微尘、静压、温度与相对湿度,由于洁净室为一很大的空间,其中又放有许多的生产设备,因此要将整个洁净室控制在非常高级别,非常稳定的环境之下供应生产,需要很高的技术层次(机构的等级)才能做到,洁净系统可分为下列三大类:
1.1补充空气(AIR)系统(system)
        补充洁净室内因制程所需抽排掉及自然外泄的空气,同时调节洁净室内的静压,并做第一阶段的空气过滤.
1.2循环空气系统
      将洁净室内空气不断循环(continue)过滤,以保持空气洁净度品质(Character)。无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。净化工作台原理的洁净环境是在特定的空间内,洁净空气(进滤空气)按设定的方向流动而形成的。以气流方向来分,现有的超净工作台可分为垂直式,由内向外式以及侧向式。从操作质量和对环境的影响来考虑,以垂直式较优越。由供气滤板提供的洁净空气以一个特定的速度下降通过操作区,在大约操作区的中间分开,由前端空气吸入孔和后吸气窗吸走,在操作区下部前后部吸入的空气混合在一起,并由鼓风机泵入后正压区,在机器的上部,30%的气体通过排气滤板从顶部排出,大约70%的气体通过供氧滤板重新进入操作区。为补充排气口排出的空气,同体积的空气通过操作口从房间空气中得到补充。这些空气绝对不会进入操作区,只是形成一个空气屏障。
1.3废气(fèi qì)排放系统
      将生产过程中产生的有害有毒废气经由抽气除毒装置将废气净化后排出,废气排放系统又分为下列四大系统:
         1) 一般废气:废热、机器(machine)外罩等无毒的废气排放.
         2) 废溶剂:挥发性的废溶剂经由活性碳吸附或高温燃烧处理后排放(arrange).
         3) 酸废气(fèi qì):带酸性的废气经由碱性湿式洗涤塔(Scrubber)中和处理(chǔ lǐ)后排放(arrange).
         4) 碱废气(fèi qì):带碱性的废气经由酸(Acerbity)性湿式洗涤塔中和处理(chǔ lǐ)后排放 .


2、高洁净度内装系统
      由于洁净室对微尘的要求非常苛刻(指过于严厉、刻薄),因此任何在洁净室内的内装材料(Material)必须是不会产生微尘的材料品质,又因为洁净室内相对湿度(humidity)较低容易产生静电(是一种处于静止状态的电荷)累积微尘,因此所有材料亦需要导电材质以避免静电的累积,高洁净度内装系统(system)包含三大主要部份:
2.1滤网(Filter mesh)天花
      由超洁净空气(AIR)滤清网所构成,为洁净室微尘控制最主要的一道防线.
2.2导电隔间
       隔离(gé lí)所有生产微尘的来源,如外墙,设备维修区,并导掉累积微尘的静电(是一种处于静止状态的电荷)
2.3导电高架地板
       由穿孔与不穿孔的地板组成,主要作用在于形成洁净室气流的模式以避免扰流发生.
 
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